除金屬轉(zhuǎn)子流量計(jì)外,工業(yè)上常用的流量計(jì)包括差壓流量計(jì)、渦街流量計(jì)、電磁流量計(jì)、超聲波流量計(jì)、渦輪流量計(jì)、橢圓齒輪流量計(jì)等。對(duì)于不同的被測(cè)流體、不同的流動(dòng)狀態(tài)和不同的測(cè)量位置,每種流量計(jì)都有各自的優(yōu)缺點(diǎn)。例如,在不同流速的場(chǎng)合,多種流量計(jì)如孔板和渦街可用于中高流速下的流量測(cè)量,而金屬浮子流量計(jì)在較低流速和較高壓力下的流量測(cè)量中起著非常重要的作用,特別是在低雷諾數(shù)的情況下。
在多晶硅生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)使用金屬轉(zhuǎn)子流量計(jì)時(shí),由于測(cè)量介質(zhì)的瞬時(shí)流量太小或不穩(wěn)定,工作壓力低或不穩(wěn)定,流量計(jì)前后測(cè)量管內(nèi)徑變化太大,流量計(jì)前后的直管段嚴(yán)重不符合使用要求,特別是當(dāng)測(cè)量介質(zhì)為氣體時(shí),流量計(jì)測(cè)量管內(nèi)的介質(zhì)流量極不穩(wěn)定,導(dǎo)致浮子跳動(dòng)。浮子的垂直上下線性運(yùn)動(dòng)通過(guò)磁耦合系統(tǒng)傳遞,并轉(zhuǎn)換成指針軸的旋轉(zhuǎn)操作,與指針軸結(jié)合的指針旋轉(zhuǎn)以指示介質(zhì)的瞬時(shí)流動(dòng)。當(dāng)流量計(jì)測(cè)量管中浮子的跳動(dòng)現(xiàn)象傳遞給指針時(shí),它變成指針的連續(xù)振蕩現(xiàn)象,導(dǎo)致流量指示不穩(wěn)定,甚至根本無(wú)法讀取刻度值來(lái)確定瞬時(shí)流量值。
如果現(xiàn)場(chǎng)出現(xiàn)這種現(xiàn)象,通常的處理方法是分析指針擺動(dòng)的主要原因。在大多數(shù)情況下,多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中采取措施改善介質(zhì)流動(dòng)條件,從而減少和避免指針擺動(dòng)。然而,大多數(shù)情況下,指針擺動(dòng)的頻率和幅度很難避免并從根本上降低。
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